Accesorios de sellos de la junta de metal de Ichor para la industria de semiconductores

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¿Por qué los accesorios de sellos de la junta de metal satisfacen las necesidades de la industria de semiconductores?

La industria de los semiconductores continúa persiguiendo chips de consumo más pequeños y de menor potencia, por lo que los nodos de proceso se están volviendo más pequeños, lo que establece mayores demandas en la limpieza del proceso. La limpieza de calidad inferior puede conducir a defectos de calidad del producto, o incluso difundir la contaminación de toda la línea de productos, lo que resulta en graves consecuencias del chatarra del producto.

En los sistemas de fluidos de alta pureza y ultra alta pureza (UHP) utilizados en la industria de semiconductores, la selección de accesorios es uno de los puntos clave. Los accesorios de soldadura a menudo se seleccionan, pero no son adecuados para conexiones que requieren un reemplazo o mantenimiento regular, mientras que los materiales no metálicos de los accesorios de sello de la junta tórica pueden ser incompatibles con los medios. ¿Hay accesorios que son fáciles de instalar y desmontar, compatibles con los medios y pueden garantizar un sello confiable ? La respuesta son los accesorios de sello de la junta de metal. Las principales ventajas de estos accesorios, que utilizan juntas de metal como elementos de sellado, son las siguientes:

• Sello duro de metal a metal, buen rendimiento de sellado : al apretar la tuerca, la glándula en ambos extremos apretará la junta de metal de ambas direcciones, y dado que la dureza de la superficie de sellado de la glándula es más alta que la de la junta metálica (la superficie de sellado de acero inoxidable de acero inoxidable de Ichor 316L es más dura que las jarras de hV es más dura que las jarras del mismo material, y 158 HV Harder de níquel), serán las jarras más dores), las jarras de las jarras dudas), y las jarras de 158 hv hardas de níquel), serán las jarras más dura), las jarras de las jarras dudas). deformado, y se formará un sello de cara apretada entre la glándula y la junta de metal para garantizar el rendimiento del sellado. Para los productos Ichor, la tasa de fuga de helio máxima es 4x10 ^-9 std CM ³ /s cuando se usa 316L de acero inoxidable 316L chapado en plata, níquel plateado y juntas de cobre, y la tasa de fuga máxima de helio es 4x10 ^-11 STD CM ³ /s cuando se usa 316L de acero inoxidable y control electropuloso de níquel;

• Repetido reensambla y uso : las juntas de metal exprimidas no dañan la superficie de sellado de la glándula, por lo que se pueden volver a montar y usar repetidamente con solo un cambio de junta por tiempo, lo que resulta en bajos costos de mantenimiento ;
• Sin zona muerta, sin residuos y fácil de purgar : la estructura de los accesorios de sello de la junta de la junta metálica permite que el elemento de sellado sea purgado por completo por el gas, lo que elimina el riesgo de contaminación debido a residuos ;
• Fácil de instalar y desmontar : estos accesorios son fáciles de instalar y desmontar solo con herramientas convencionales, lo que puede mejorar significativamente la eficiencia de la instalación y el mantenimiento .

¿Cuáles son los productos de los accesorios de sello de la junta de metal de la serie Ichor EFR?

Un típico conjunto de ajuste de sello de la junta de la junta de metal consisten en las glándulas, la junta, la tuerca femenina y la tuerca masculina. Además de estas piezas, los accesorios de sello de la junta de metal de la serie Ichor EFR también incluyen el cuerpo del cuerpo, el enchufe, la tapa, el dispositivo de bloqueo de restricciones de flujo, etc.

Entre ellos, la junta de metal debe ser reemplazada después de cada desmontaje, y actualmente Ichor ofrece 7 tipos de juntas de metal:

1. Junta retenida no retenida: las juntas más utilizadas;

2. Conjunto del retenedor de la gran cantidad: la junta se fija a la superficie de sellado de las glándulas por el retenedor, por lo que no están limitadas por la dirección de instalación y la junta está perfectamente centrada;

3. Retenedor de carga del lado: montaje radial, adecuado para la instalación en espacios apretados;

4. Junta BLIND: como un enchufe temporal;

5. Junta de Nubber: filtro de metal en el orificio para reducir la influencia de las fluctuaciones de presión en la tubería;

6. Junta de arbitraje: el anillo exterior de la junta está moldeado y involucra la glándula después de la instalación para evitar el aflojamiento;

7. Junta de Restricción: diseñada para un control de flujo preciso;

8. Junta de restricción de orificio de ruby: orificio de rubí para tolerancia a alta temperatura, compatibilidad química amplia y resistencia al desgaste.

El funcionamiento adecuado según las instrucciones de instalación de ICHOR es necesario para garantizar el rendimiento del sellado. Primero verifique la superficie de sellado del accesorio y la junta para obtener arañazos graves y otros defectos, asegúrese de que la superficie de sellado esté en buenas condiciones, luego ensamble la glándula, la junta, la tuerca femenina y la tuerca masculina, y apriete la tuerca. Use una llave llave para apretar aún más la tuerca hembra mientras mantiene la nuez masculina estacionaria, 1/8 giro para el acero inoxidable y las juntas de níquel (nota: 3/8 giro para juntas de manchas) y 1/4 giro para juntas de cobre.

Instrucciones de instalación de accesorios de sello de la junta de la junta de la serie FR Serie

Ichor ofrece una gama integral de productos de alta pureza y ultra alta pureza, que incluyen válvulas de diafragma, válvulas selladas de fuelles, válvulas de medición, reguladores de presión, así como sistemas de control de gases, como paneles de punto de uso, sistemas de cambio y sistemas integrados de gas, además de los ajustes de sellado de la cara de metal y las obras de soldadura. Las instrucciones de instalación y los servicios de capacitación también están disponibles. Ichor siempre se compromete a satisfacer las diferentes necesidades de nuestros clientes con productos especializados y servicios profesionales, y continúa creando valores para nuestros clientes.