Introducción a W-SEAL y C-SEAL

Los sistemas de gas integrados (IGS) utilizados en equipos semiconductores generalmente consisten en componentes como válvulas de diafragma, válvulas de retención, reguladores, filtros, sensores de presión, controladores de flujo de masa y sustratos. Estos componentes generalmente se montan en la superficie y se sellan utilizando W-SEAL o C-SEAL. La elección del tipo de sellado es crucial para determinar el rendimiento de sellado del sistema. En esta charla tecnológica, discutiremos las similitudes y diferencias entre W-SEAL y C-SEAL.

Similitudes entre W-SEAL y C-SEAL

W-SEAL y C-SEAL son ambos tipos de sellos de metal. A diferencia de los sellos no metálicos como el caucho o el compuesto, los sellos de metal no se deterioran con el tiempo debido a la compactación, y tienen una buena compatibilidad química. Las juntas de SEAL IChor (Serie IWG) y las juntas de SEAL C (series ICG) están hechas de acero inoxidable 316L o 316L VAR de acuerdo con el proceso de pureza Ichor Ultra High (FC-03). Estas juntas están electro pulidas para alcanzar una rugosidad de la superficie de RA ≤ 5 μin. (0.13 μm), que se ajusta al semi F19 UHP. Con un excelente rendimiento de sellado, su velocidad de fuga de la cara de sellado (helio) ≤ 1 × 10 ^-9 std cm ³ /s.

En comparación con el sello de soldadura o el sello de la cara de la junta de metal, el SEAL W y el SEAL C son más compactos y pueden reducir significativamente el tamaño de los sistemas de suministro de gas. Para ocasiones que requieren un flujo limitado, las juntas de sellado con orificio especificado están disponibles.

Diferencias entre W-SEAL y C-SEAL

Las juntas de W-SEAL (serie IWG) están diseñadas con una estructura "flotante", lo que permite que la cara de sellado sea independiente de los componentes que reciben fuerzas externas. Durante la instalación, la cara de sellado de la junta se comprime contra los componentes montados en la superficie (como el cuerpo de la válvula W-sel) y los sustratos y forma el sello. Cada W-SEAL se puede instalar en el sistema individualmente, lo que facilita la eliminación y la reinstalación a medida que se modifican los diseños del sistema. Además, el kit de servicio Ichor (Modelo no.: SC-IGS-11) ofrece pinzas de juntas para juntas de W-SEAL para garantizar una instalación de calidad de la junta.

La sección de una junta C-SEAL (serie ICG) se asemeja a la letra "C" con dos jefes de sellado plano en ambos lados. Cuando se aprieta adecuadamente, la parte superior e inferior de la junta se estrella contra los componentes montados en la superficie (como el cuerpo de la válvula C) y las caras de sellado endurecidas de los sustratos y crean sellos. Además, el soporte de la junta C-SEAL puede ayudar a localizar múltiples juntas al mismo tiempo.